株式会社一起开宣布一款调控半导体制作的堆积工艺中臭氧浓度的新式监测仪，并对该监测仪与臭氧发生器的兼容性做全面测验。此次的联合开发也是TEL建议并推进的供应链建议E-COMPASS的一部分。
布景BACKGROUND半导体制作的完好进程的堆积过程需要用臭氧来构成各种氧化物薄膜，并经过牢靠的臭氧浓度检测仪实时监测臭氧发生器的状况和功能。传统的臭氧浓度丈量技能之一是紫外吸收法，该办法使用的是臭氧对不同波长的紫外线吸收程度不同的原理，而缺陷是，因汞是有害于人体健康的物质，需要对使用了汞紫外的灯源进行定时替换*1。TEL、富士金和TMEIC一起研制的无汞且免维保的臭氧浓度监测仪和臭氧发生器，能处理这一问题。
■ 与传统的两年替换一次灯源的频率比较，LED灯源具有超越10年的经久耐用程度，免除维保的后顾之虑。
■ 装备LED的监测仪，完成耗电量从25W降至3W（下降88%）。这相当于每台监测仪每年削减77.1千克的CO2e*2的排放量。
此次开发的新式臭氧浓度监测仪适用于半导体制作设备和臭氧发生器。未来五年，臭氧发生器的需求规划将翻一番，选用新式臭氧监测仪有望协助工厂削减310吨CO2e排放量和约1亿日元的灯源替换费用。
在此次环境技能协作中，富士金与TEL一起开发了臭氧浓度监测器，由TMEIC在其臭氧发生器上对该监测仪来测验和功能验证， 然后保证该监测仪适用于多个范畴，其间也包含TEL的半导体制作设备和配套设备。
为应对数字化和绿色社会的未来全球趋势的到来，往后，TEL将自始自终与事务同伴坚持严密协作，活跃供给友爱环境的设备并为设备开发环保技能。在这些事务展开进程中，尽力饯别经过先进的技能和牢靠的服务，为发明赋有愿望的社会做奉献的企业理念。
