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【48812】国林科技:公司电子级超纯臭氧气体发生器可发生高浓度、大流量、高压力的超洁净臭氧

时间: 2024-07-28 04:41:20 作者: 米乐体育app官方版下载

  国林科技(300786.SZ)5月30日在出资者互动渠道表明,公司电子级超纯臭氧气体发生器可发生高浓度、大流量、高压力的超洁净臭氧,臭氧在电子工业范畴可被大范围的运用在构成 CVD 和 ALD 薄膜、氧化物成长、光 刻胶去除和多种清洁运用。

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